Fiche détaillée
| Domaine | Manométrie |
|---|---|
| Grandeur | Pression relative |
| Principe | Capteur au silicium |
Description
Le capteur au silicium possède deux résonateurs en H sur une pastille de silicium, contenus dans une coquille protégée sous vide, et maintenus en résonance par un aimant permanent.
Dès que la fréquence d’un résonateur augmente à cause de la tension, la fréquence du second résonateur décroit sous la compression. La différence entre les deux fréquences linéaires, calculée par l’électronique à micro-processeur, est proportionnelle à la pression appliquée au capteur.
