Fiche détaillée
| Domaine | Manométrie |
|---|---|
| Grandeur | Pression absolue |
| Principe | Capteur piézorésistif à couche mince |
Description
C’est un capteur à jauges à semi-conducteurs montées en pont de Wheatstone dans la cellule de mesure, dont la résistivité électrique varie sous l’effet d’une variation de pression. Ces jauges peuvent être soit collées, soit diffusées dans une membrane de silicium constituant le corps d’épreuve.
